鲁汶仪器“一种闪耀光栅的制造方法”专利公布
来源:互联网 更新时间:2025-04-23 09:27
天眼查数据显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的“一种闪耀光栅的制造方法”专利已公布，公布日期为2025年3月7日，公布号为cn119575529a。
该专利申请介绍了一种制造闪耀光栅的新方法，具体步骤包括：首先，提供一个覆盖有周期性排列的掩膜的衬底；然后，利用特定入射角度和旋转角度，以掩膜作为掩蔽物，通过离子束刻蚀衬底，从而形成闪耀光栅。其中，入射角度定义为离子束在衬底法线所在平面的第一投影与衬底法线之间的夹角，旋转角度定义为离子束在衬底表面所在平面的第二投影与衬底表面的切线之间的夹角。通过调整入射角度和旋转角度，可以有效降低掩膜的遮蔽效应，从而精确控制反闪耀角。通过这种方法，能够增大反闪耀角，从而提升闪耀光栅的衍射效率。
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